氣動量儀通常由已知長度部分、定位瞄準(zhǔn)部分、放大細(xì)分部分、顯示記錄部分以及計(jì)算部分等組成。量儀種類繁多，按工作原理可分為:①機(jī)械式量儀。如杠桿-齒輪式比較儀、扭簧比較儀和測微儀等。②光學(xué)量儀。如測微自準(zhǔn)直儀、測角比較儀、平直度檢查儀、立式光學(xué)計(jì)、臥式光學(xué)計(jì)、超級光學(xué)計(jì)、立式測長儀、測長儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉比長儀和光學(xué)分度頭等。③電動量儀。如電動測微儀、靜態(tài)光電顯微鏡、動態(tài)光電顯微鏡、光電準(zhǔn)直光管、電感式比較儀、電容式比較儀、輪廓儀和圓度儀等。④氣動量儀。如低壓水柱式氣動量儀、差壓水柱式氣動量儀、差壓水銀柱式氣動量儀、高壓薄膜式氣動量儀、波紋管式氣動量儀和流量式氣動量儀(浮標(biāo)式氣動量儀)等。另外，量儀也可按用途等進(jìn)行分類。氣動量儀精度評定方法主要有檢定法、比對法和誤差分離法等。