型號

SJ-500

SV-2100M4

SV-2100S4

SV-2100H4

SV-2100W4

標(biāo)準(zhǔn)型

（選件）

手動操作

電動驅(qū)動

測量范圍

Z1軸（檢出器）

800μm，80μm，8μm

X軸

50mm

100mm

直線度

0.2μm/50mm*1

0.15μm/100mm

分辨力

X軸

0.05μm

Z1軸（檢出器）

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm），0.0001μm（8μm）

Z2軸（立柱）

——

——

0.1μm

驅(qū)動速度

X軸

0-20mm/s或手動操作

0-40mm/s 或手動操作

Z2軸（立柱）

——

手動

0-20mm/s 或手動操作

測量速度

0.02-5mm/s

上下移動量

連接裝置：30mm

350mm

350mm

550mm

評價輪廓

原始輪廓，粗糙度輪廓，波形輪廓，DF輪廓，粗糙度motif輪廓，波形，motif輪廓

評價參數(shù)

Ra,Rc,Ry,Rz,Rq,Rt,Rmax,Rp,Rv,R3z,Sm,S,Pc,m(rc),&c,mr,tp,Htp,Lo,Lr,Ppi,HSC,△a,△q,Ku,Sk,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo, λa,λq,R,AR,Rx,W,AW,,Wte　

輪廓分析

階差（平均，zui大，zui小），圓，角度，面積，坐標(biāo)值邊緣，傾斜角

分析圖表

負(fù)荷曲線（BAC）,振幅分布曲線（ADC），功率譜圖

曲線補(bǔ)充

拋物線補(bǔ)償，雙曲線補(bǔ)償，橢圓補(bǔ)償，圓補(bǔ)償，錐面補(bǔ)償，傾斜補(bǔ)償（曲面/任意）

濾波

2CR75，PC75，高斯魯棒樣條

截止波長

Λs

0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm，無濾波

Λc

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

Λf

0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

取樣長度

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

LCD規(guī)格

7.5″帶背光的TFT液晶顯示

內(nèi)置打印機(jī)

高速熱敏打印機(jī)（紙寬：58mm）

記錄放大

水平倍率

10X-500,000X,自動

倍率

垂直倍率

0.5X-10000X,自動

檢出器

檢出方式

差動電感方式

觸診&測力

0.75mN觸針針尖（鏈）：針尖錐角：60°，針尖半徑：2μm4mN觸針針尖（錐）：針尖錐角：90°，針尖半徑：5μm

電源

100-120V AC±10%，50/60Hz

功耗

100VA

70VA

140VA

外形尺寸

主機(jī)

425*94*160MM

716*450*863MM

766*482*966MM

766*482*1166MM

1166*482*1176MM

演算顯示部

330*270*94MM

電動裝置

372*245*71.8MM

重量

主機(jī)

2.7KG

140KG

150KG

220KG

演算顯示部

4.0KG

電動裝置

­——

——

3.0kg